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本实用新型公开了半导体刻蚀装置多孔陶瓷喷嘴部件洗净专用冲洗治具，包括治具本体、治具盖体和进液接头，所述治具本体内设有部件支撑座，在部件支撑座上设有一圈漏液通孔，所述治具本体顶部设有卡台结构，该卡台结构用于与治具盖体相连，所述治具盖体中部开有容纳腔，所述容纳腔内连接有进液接头；所述治具盖体包括固定部和密封部，所述密封部设有进液腔体，该进液腔体与进液接头底部连通；所述固定部侧壁与卡台结构上部连接，密封部与卡台结构下部接触，在密封部与部件支撑座之间设有待清洗的多孔陶瓷喷嘴。使用本治具作业时间短，清洗效
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220559606U
(45)授权公告日2024.03.08
(21)申请号202321966965.7
(22)申请日2023.07.25
(73)专利权人富乐德科技发展（大连）有限公司
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