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本发明提供一种设备前端模块，包括：运送室；装载端口模块，安装有前开式晶片传送盒；晶片运送机器人，位于所述运送室内，并且将所述前开式晶片传送盒中的晶片运送至工艺设备侧，其中所述前开式晶片传送盒安装在所述装载端口模块以与所述运送室连通；缓冲模块，在对所述装载端口模块安装所述前开式晶片传送盒之前/之后保管所述前开式晶片传送盒，并且对所述前开式晶片传送盒注入惰性气体以吹扫所述晶片。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110957249A
(43)申请公布日
2020.04.03
(21)申请号20191
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