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本发明涉及化学气相沉积设备技术领域，具体涉及一种沉积炉。一种具有旋流气场的沉积炉，包括：旋转动力机构、支撑承重机构、隔热保温机构以及进气机构；旋转动力机构安装在沉积炉的炉底，用于带动支撑承重机构旋转；支撑承重机构位于沉积炉内，底部安装有进气机构，上部承载有待沉积产品；隔热保温机构设置在支撑承重机构与沉积炉内壁之间；碳源气体通过进气机构传输到炉内，在被均匀分散的同时在沉积区形成旋流气场。本发明利用支承转盘轴承带动炉内整体机构旋转，从而以旋转的方式带动炉内气场以及热场的均匀性，提高大尺寸C/C复合材
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117660918A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202311560576.9
(22)申请日2023.11.22
(71)申请人西安超码科技有限
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