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一种OPA芯片端面超声波抛光系统.pdfVIP

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  • 2024-03-09 发布于四川
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一种OPA芯片端面超声波抛光系统.pdf

    本发明公开一种OPA芯片端面超声波抛光系统，涉及芯片加工技术领域；包括底座，底座上设置有超声波抛光箱和清洁箱；在底座上设置有定位工装件，用于定位安装工件；定位工装件包括滑动安装在底座上的滑座，滑座上固定连接有安装架，安装架上旋转安装有转盘，转盘上升降滑动设置有定位架，定位架上开设有呈圆形阵列布置的定位通孔；在定位架的上下端面上分别设置有点位支撑件，点位支撑件呈圆形阵列布置在定位架上；通过定位架上下端面对应的点位支撑件对工件进行支撑定位；在底座的一侧设置有转移件，用于对工件进行夹持转移；本发明能在

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117655823A

    (43)申请公布日2024.03.08

    (21)申请号202410132515.0

    (22)申请日2024.01.31

    (71)申请人扬州群发光芯科技有限公司

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