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磷化铟晶片卸片卡塞托架,涉及单晶片加工技术领域,尤其是一种卸片后快速放取晶片、保护晶片并配合后续加工的磷化铟晶片卸片卡塞托架。本实用新型包括外支架、内托板和胶垫,外支架为一个顶部开口、内部中空的盒体结构,内托板竖直固定在外支架内部,胶垫覆盖在内托板顶部;外支架一端侧板高于另一端侧板,四块侧板顶部齐平,外支架从较高一端侧板向较低一端侧板倾斜。本实用新型的磷化铟晶片卸片卡塞托架,结构合理、设计科学,使用方便,卸片后能够快速放取晶片,卸片过程简便高效;柔性胶垫设计有效防止放取晶片时对晶片造成损伤;组合
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220585200U
(45)授权公告日2024.03.12
(21)申请号202321479823.8
(22)申请日2023.06.09
(73)专利权人云南鑫耀半导体材料有限公司
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