原创力文档- 4
- 0
- 约8.09千字
- 约 10页
- 2024-03-13 发布于四川
- 举报
本发明涉及晶圆清洗设备，属于晶圆生产设备技术领域。晶圆清洗设备包括清洗箱、除尘箱和挡尘部。清洗箱具有固定部，晶圆安装在固定部上，清洗箱的顶部具有清洗口。除尘箱具有进气口和排气口，进气口与排气口沿第一方向间隔设置，并分别位于除尘箱的两侧，除尘箱内具有除尘腔，除尘腔连通进气口和排气口，清洗箱上还具有排尘口，排尘口与进气口相对设置以连通清洗箱和除尘箱。挡尘部设置于除尘腔内且位于进气口和排气口之间，挡尘部用于气体在除尘腔流动时阻挡气体中的杂质，并使杂质留在除尘腔内。进而解决了现有晶圆清洗设备导致粉尘飞扬
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117680465A
(43)申请公布日2024.03.12
(21)申请号202311646474.9
(22)申请日2023.12.04
(71)申请人成都汉芯国科集成技术有限公司
地址
文档评论（0）