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基于机器视觉的芯片外观缺陷自动检测系统.pdfVIP

基于机器视觉的芯片外观缺陷自动检测系统.pdf

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    本发明涉及芯片外观检测领域，用于解决芯片外观检测时标准化操作困难，容易因为人为因素产生误差的问题，具体为基于机器视觉的芯片外观缺陷自动检测系统，包括图像采集单元、对比分析单元、缺陷统计单元、检测效率分析单元和设备预警单元；本发明中，通过图像采集设备与智能图像分析手段对芯片的外观进行采集、外观辨别和外观缺陷判定，从而能够对芯片外观缺陷的标准进行统一，避免出现人为误差因素，提高了芯片缺陷故障检测的效率，通过对芯片所存在的缺陷进行分类统计，根据分类统计的结果对可能有设备所导致的频发故障进行判别，从而分

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117686516A

    (43)申请公布日2024.03.12

    (21)申请号202410119215.9

    (22)申请日2024.01.29

    (71)申请人江苏优众微纳半导体科技有限公司

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