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一种薄膜体声波谐振器及其制造方法、滤波器以及双工器.pdfVIP

一种薄膜体声波谐振器及其制造方法、滤波器以及双工器.pdf

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    本发明提供了一种薄膜体声波谐振器的制造方法，该制造方法包括：刻蚀基底形成第一凹槽并在该第一凹槽内填充牺牲层；在所述基底和所述牺牲层上形成阻挡层；在所述阻挡层上形成第一支撑层，并刻蚀所述第一支撑层直至暴露所述阻挡层以在所述牺牲层上方形成第二凹槽；在所述第二凹槽的表面上形成下电极，以及在该下电极上依次形成压电层和上电极；去除所述第一支撑层以形成环绕所述下电极侧面的第一空间、以及去除所述牺牲层以在所述下电极下方形成第二空间。相应地，本发明还提供了一种薄膜体声波谐振器、滤波器以及双工器。实施本发明可以有

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN110289825A

    (43)申请公布日

    2019.09.27

    (21)申请号20191

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