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本发明提供了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法，其中，薄膜体声波谐振器包括：承载衬底；支撑层，键合于所述承载衬底上，所述支撑层围成第一空腔，所述第一空腔暴露出所述承载衬底；压电叠层结构，覆盖所述第一空腔，所述压电叠层结构从下至上包括依次层叠的第一电极、压电层和第二电极；有效谐振区边界处设置有凸起，所述凸起设置于所述压电叠层结构上表面或下表面；或，所述凸起部分设置于所述压电叠层结构的上表面，部分设置于所述压电叠层结构的下表面。本发明的有益效果在于，能够解决薄膜体声波谐振器结构强度低和横波泄露导致的品
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN112039465A
(43)申请公布日
2020.12.04
(21)申请号20201
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