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本发明公开了一种用于玻璃晶圆的化学机械抛光液及其制备方法和应用，属于玻璃晶圆抛光技术领域。该抛光液通过纳米级磨料颗粒对玻璃晶圆表面的修饰作用，达到原子级的粗糙度(0.1‑0.2nm)，平整度可达采用润湿分散剂阻止纳米级磨料颗粒的团聚，避免抛光过程中产生微划伤，影响粗糙度。采用螯合剂和助洗剂，能够有效去除抛光过程中产生的颗粒物残留和有机物残留。采用复合润滑分散剂和润滑保湿剂组分，确保抛光过程中不产生结晶，保证浆料的均匀分布，保证抛光表面的平整度和光洁度。适用于各种尺寸的玻璃晶圆超光滑抛光，表面透光
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115011254A
(43)申请公布日2022.09.06
(21)申请号202210651715.8
(22)申请日2022.06.09
(71)申请人纳芯微电子（河南）有限公司
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