JB∕T 13872-2020 平面相移干涉仪.pdf

ICS17.180.30

N33

同J:~

中华人民共和国机械行业标准

JB/T13872-2020

平面相移干涉仪

Phaseshiftinterferometerforflat

2021-01-01实施

2020-04-16发布

中华人民共和国工业和信息化部发布

学兔兔标准下载

JBff13872-2020

目次

前言……·……·…·……....…………..........…............II

l范围…………................……··……….…·…....……...…..1

2规范性引用文件……·…….................…·…………................…...........….......1

3术语和定义…...…..…..1

4型式和基本参数…·……......……...……...…...…..…..2

4.1型式..............…...……··…..........………··………·…......2

4.2基本参数………··…..………...…·……….…………2

5要求...................………..............…................…….............….............…3

5.1主要技术指标..…..……...……·……··……..….............…….......…..3

5.2电气安全性能.........….......………........………··…………·……··……….3

5.3激光安全....………··…………...……………...……….......…........……3

5.4外观及各部分相互作用.....…·………....…..…….............……··………......…....4

5.5运输贮存基本环境试验…··………………...…··…..………......................4

6试验方法．．．．…··…H……··…·…··…………………4

6.1总则.........…················…….......................…－－·····…………··………..........……….............4

6.2试验条件……………··……..……·……………··………4

6.3