原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开一种晶圆进给料输送系统，涉及常压化学沉积技术领域，包括设备本体，设备本体内设置有晶圆搭载平台、机器人、晶圆冷却旋转平台、晶圆提升系统、主支撑板、第一直线导轨、第一驱动电机、晶圆加热组件、晶圆加热组件支撑和真空发生系统。本发明中的系统，通过设置高纯石英、Si或SiC的非金属材料层，防止晶圆受到污染；晶圆通过晶圆提升系统和第一直线导轨移出后，在晶圆加热组件下单独进行沉积；每块晶圆的沉积面一次性完成薄膜沉积，摆脱气体扩散和传输的限制，沉积薄膜的厚度和质量均匀性表现更好。采用高纯石英、机器人等
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117684150A
(43)申请公布日2024.03.12
(21)申请号202410094527.9
(22)申请日2024.01.24
(71)申请人宁波恒普技术股份有限公司
地址
文档评论（0）