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一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备.pdf

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    本实用新型涉及薄膜沉积技术领域，具体涉及一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备，包括腔体、设置在所述腔体左右两侧的磁流体组件，所述磁流体组件包括磁流体传动轴、套设在所述磁流体传动轴上的绝缘传动轮和盖合在所述绝缘传动轮端部的绝缘端盖，还包括设置在腔体内的载具组件、分别设置在载具组件上方和下方的上靶区和下靶区，腔体左右两侧的磁流体组件与载具组件两端转动连接。本实用新型的一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备，实现防止托盘载具与磁流体传动轴导通发生放电现象，使托盘载具一直处于悬浮电位，有效的避免生产过程中的异常问题，

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220597619U

    (45)授权公告日2024.03.15

    (21)申请号202322153448.4

    (22)申请日2023.08.11

    (73)专利权人东方日升（江苏）新能源有限公司

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