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本发明属于微型气体压缩机技术领域，具体涉及一种串联腔体阵列式微型压电气体压缩机，整体由外套、冷却套、上板、中间板、下板、密封圈、单向阀、第四单向阀、压电振子构成；上板的下端面与中间板的上端面之间从左到右依次安装有第一压电振子和第三压电振子，中间板的下端面与下板的上端面之间安装有第二压电振子，第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子的直径依次减小。冷却套与盖板之间涂有导热胶，冷却套外表面设置有冷却管道，冷却套外侧设置有外套。特色及优势：前一级腔体吸入大体积气体以充足供应下一级腔体压缩，可有效累积各
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109931250A
(43)申请公布日
2019.06.25
(21)申请号20191
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