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本发明公开了一种基于兰姆波TPoS谐振器的三轴加速度计，属于微机电系统技术领域，包括形状为长方体的质量块，以及四个对称设置于质量块上表面侧方的悬臂梁结构；质量块包括衬底硅层和第一掺杂硅层；悬臂梁结构采用TPoS结构，包括第二掺杂硅层、压电薄膜和叉指换能器；悬臂梁结构的首端分别与质量块上表面的对应棱边相连，末端固定在外围支撑结构上；叉指换能器设置在悬臂梁结构的末端；叉指换能器与其下方的压电薄膜共同构成兰姆波谐振器。本发明利用四个TPoS结构的兰姆波谐振器实现三个方向的运动加速度检测，对悬臂梁结构的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117706113A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311720922.5
(22)申请日2023.12.14
(71)申请人电子科技大学
地址611731
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