原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种MEMS微镜及其制备方法，包括开设在晶圆上的：镜面，其下端设置有镜面下空腔；支撑梁组件，与镜面两侧相连，并以支撑梁组件为轴提供镜面转动空间；垂直驱动梳齿对，其用于驱动镜面旋转；隔离梁，其固定于镜面下空腔中部，并接近于镜面表面，用于镜面运动时增强镜面和空腔底部的压膜阻尼；Bump块，用于在镜面转动到该侧最低点时对其进行支撑。本发明通过在镜面空腔下增加了一条隔离梁，增加了镜面运动时的压膜阻尼，提升了微镜系统的性能和稳定性。同时，在制作隔离梁的同时可以在镜面下面增加几个Bump块,Bum
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117706760A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311854419.9
(22)申请日2023.12.28
(71)申请人无锡微视传感科技
文档评论（0）