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本公开提供了一种待测物体的测量系统，该系统包括工装装置、处理装置、激光干涉仪和运动装置，所述运动装置设置在所述工装装置上，所述激光干涉仪，用于在所述待测物体放置于所述工装装置的情况下，输出第一条纹图像；所述处理装置，用于根据所述第一条纹图像，确定所述待测物体所处的位置；以及，在所述待测物体所处的位置偏离最佳测量位置的情况下，控制所述运动装置转动以将所述待测物体所处的位置调整至所述最佳测量位置；所述激光干涉仪，用于在所述待测物体所处的位置为所述最佳测量位置的情况下，对所述待测物体进行测量获得所述待
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117704957A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311633983.8
(22)申请日2023.11.30
(71)申请人歌尔光学科技有限公司
地址26
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