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本实用新型提供了一种喷淋装置及化学气相沉积设备，包括至少2个第二气路单元和位于相邻所述第二气路单元之间的第一气路单元，所述第二气路单元包括第一凸起和设于所述第一凸起底部的第二凸起，以及贯穿所述第一凸起和所述第二凸起的喷淋通道；所述第一凸起的径向截面面积沿所述喷淋通道的延伸方向减小；所述第二凸起的外侧壁沿所述喷淋通道底部的延伸方向延伸；所述喷淋通道的延伸方向和所述喷淋通道底部的延伸方向均为各自远离所述第一气路单元的延伸方向；相邻的第一凸起围成第一通道，第一气路单元底部与第一通道顶部相通，能够有效减
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220597631U
(45)授权公告日2024.03.15
(21)申请号202322291434.9
(22)申请日2023.08.24
(66)本国优先权数据
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