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- 2024-03-16 发布于四川
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一种末端返回式双面立式镀膜设备，包含第一排真空腔、第二排真空腔、转移真空腔及回流区。所述第一排真空腔设置在基准线的一侧且包括第一真空腔、第二真空腔及第三真空腔。所述第二排真空腔设置于所述基准线的另一侧且包括第四真空腔、第五真空腔及第六真空腔。所述第一排真空腔与所述第二排真空腔设置在邻近所述基准线的一侧的腔门彼此错开。载具能沿着由所述第一排真空腔、所述转移真空腔、所述第二排真空腔及所述回流区所形成的循环路径移动。本发明能节省设备占地面积，且各真空腔的腔门互相错开不干涉，方便维修或故障排除。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117702071A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202211093562.6
(22)申请日2022.09.08
(71)申请人凌嘉科技股份有限公司
地址中国
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