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本发明公开了一种在金属薄膜表面利用激光刻蚀有机膜的方法，涉及激光刻蚀领域，包括：S1、将圆盘旋转组件固定在系统的工作台上，将待刻蚀样品通过工装、掩模板固定在圆盘旋转组件上；S2、调节脉冲激光器输出加工激光光束的位置和/或角度，以将光斑定位在待刻蚀样品的待刻蚀区域；S3、调节探测激光器输出探测激光光束的位置和/或角度，使探测激光光束沿预定角度到达待刻蚀区域后形成的反射光束，光功率探测器通过滤光片收集反射光束；S4、外部终端通过光功率探测器反馈的功率探测值对有机膜的刻蚀程度进行在线监测。本发明提供一
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117697166A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202410168538.7
(22)申请日2024.02.06
(71)申请人中国工程物理研究
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