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本发明公开了一种阶梯光栅拼接角度误差的高精度检测及误差解耦方法。本发明采用光干涉测量技术，在光栅Littrow检测结构下，同时对光栅低衍射级次m1和高衍射级次m2进行条纹检测，并记录相应的条纹图像P1和P2，对图像进行相位恢复算法计算，通过计算波前系数进行联合求解，获得y向旋转误差、x向旋转误差和z向旋转误差。本发明弥补了阶梯光栅0级光束由于能量低而引起的检测难题，通过双级次干涉条纹同步联合计算波像差系数，实现阶梯光栅拼接的精确误差解耦和精确分析。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117705419A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311756312.0
(22)申请日2023.12.20
(71)申请人中国科学院南京天
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