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提供卡盘工作台、切削装置以及卡盘工作台的修正方法，能够在切削时抑制被加工物的背面的缺损和角部裂纹的产生。卡盘工作台具有：主体部，其将被加工物隔着划片带保持在保持面上；以及框架保持部，其在主体部的外周对框架进行保持，主体部具有：保持面，其由平坦面构成；吸引槽，其形成于保持面的与框架单元的被加工物和框架之间的环状区域重叠的区域，对环状区域的划片带进行吸引保持；以及吸引路，其使吸引槽与吸引源连通，框架保持部将框架从保持面拉下而进行保持，使划片带与保持面紧贴。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110233128A
(43)申请公布日
2019.09.13
(21)申请号20191
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