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本发明提供了一种耐压型蓝宝石窗口三波段增透膜及其制备方法，制备方法包括如下步骤：蓝宝石基片的镀膜前准备及离子刻蚀清洗；离子束溅射交替镀制二氧化硅和氧化钽：开启双离子源，主离子源：束压1150V~1250V，束流850A~950A，加速电压350V~450V，次离子源：束压240V~260V，束流180A~220A，加速电压480V~520V，靶材氧气流量：二氧化硅沉积时28sccm~32sccm，氧化钽沉积时38sccm~42sccm；镀膜结束后，进行热处理；离子刻蚀后镀制全氟聚醚聚合物膜层。本
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117702052A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311725334.0C23C14/02(2006.01)
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