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本发明涉及一种用于批量加工高精度调心滚子的化学机械抛光设备，包括设备台体和滚子装夹与抛光装置，设备台体包括设备箱体和可转动的磁吸抛光盘，磁吸抛光盘设置在设备箱体上，滚子装夹与抛光装置的数量至少为一个，且其设置于设备箱体上，滚子装夹与抛光装置包括驱动机构、夹持机构和抛光液供给机构，夹持机构用于对待加工工件进行夹持，夹持机构夹持的待加工工件的底部能够与所述磁吸抛光盘接触，驱动机构与夹持机构相连，抛光液供给机构用于提供抛光液。本发明能够完成调心滚子全身抛光，包括对调心滚子上端面圆形凹槽的抛光，解决了调
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117697618A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311745716.XB24B57/02(2006.01)
(22)申请日2023.12.
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