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实现能够进行不同的前处理的小型的预湿模块。预湿模块(200)包括：工作台(220)，其构成为对使被处理面(WF‑a)向上的基板(WF)的背面进行保持；旋转机构(224)，其构成为使工作台(220)旋转；清洗液供给部件(260)，其构成为具有配置于工作台(220)的上方的喷嘴(262)，经由喷嘴(262)向工作台(220)的方向供给清洗液；以及脱气液供给部件(250)，其构成为对被工作台(220)保持的基板(WF)的被处理面(WF‑a)供给脱气液，该脱气液供给部件(250)构成为能够在喷嘴(262
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117716481A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202280041240.9(51)Int.Cl.
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