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本发明公开了一种基于杂交三点法误差分离技术的超精密主轴测量方法，包括以下步骤：S1、安装好检棒，以使检棒的轴线与主轴的回转轴线同轴；S2、采用杂交三点法误差分离技术校核检棒的圆度轮廓；S3、将三个位移传感器沿XYZ三个方向安装，测量主轴径向跳动信号和轴向跳动信号；S4、将校核出的检棒圆度轮廓信号从主轴径向跳动信号中减掉，以消除检棒的圆度轮廓对主轴测量结果的影响，从而，更准确地评估主轴径向回转误差；S5、基于步骤S3检测得到的轴向跳动信号，计算主轴的轴向回转误差。本发明所提出的频域杂交算法，能大幅
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117705446A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311805378.4
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人华南理工大学
地址511458
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