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本发明涉及压力传感器的技术领域，具体涉及一种电容式柔性薄膜压力传感器及其制备方法，其中，电容式柔性薄膜压力传感器包括由上往下依次层叠的上柔性基材层，第一胶层，上电极层，可塑性弹性体层，下电极层，第二胶层和下柔性基材层；制备方法包括：S1、制备可塑性弹性体层；S2、将上述制备的可塑性弹性体层置于下电极层的上方并对齐，再放上上电极层并对齐；S3、将下柔性基材层通过第二胶层与下电极层相贴合，上柔性基材层通过第一胶层与上电极层相贴合；本发明提供的电容式柔性薄膜压力传感器及其制备方法，传感范围在0.5‑6
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117705323A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311612323.1
(22)申请日2023.11.28
(71)申请人纳电（广东）材料科技有限公司
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