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本发明属于晶圆湿法技术领域，尤其是一种晶圆槽式清洗设备，包括清洗槽体以及与所述清洗槽体底部相连的振子腔，所述清洗槽体内部设有隔离板，所述隔离板将所述清洗槽体分隔为用以存放清洗液的清洗腔以及存放纯水的传导腔；所述清洗腔位于所述隔离板上方，所述传导腔位于所述隔离板下方；所述振子腔内间隔设有至少1个声波振子组，所述声波振子组包括超声波振子以及兆声波振子，每个所声波振子组与一声波控制器电性相连。有益效果在于：同时设置超声振子以及兆声振子，通过产生的复频声波提高清洗效率。传导腔同时用于声波以及热量传播，可
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117711991A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202410160296.7
(22)申请日2024.02.05
(71)申请人苏州智程半导体科技股份有限公司
地
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