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本发明提供一种基于静电驻极体的瞬态等离子体诊断系统及其诊断方法，静电驻极体探头正对安装于等离子体点火源，距离小于激发的瞬态等离子体横向尺寸以及德拜长度；静电驻极体探头连接至电流检测电路；电流检测电路连接至微处理器；对于瞬态低温等离子体，采用双正极性静电驻极体探头结构进行诊断。对于瞬态高温等离子体，采用正负双极性静电驻极体探头结构进行诊断。本发明通过测量极化驻极体背电极的感应电流，得到静电驻极体探头的V‑I曲线，从而诊断出瞬态等离子体电子密度、正离子密度和电子温度等重要参数，具有响应速度快、诊断成
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117705919A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311720430.6
(22)申请日2023.12.14
(71)申请人北京理工大学
地址100081
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