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本发明提供了一种碳化硅石英复合舟托,包括舟托主体和多个舟脚,所述舟托主体的材质为碳化硅,所述舟脚的材质为石英,所述舟托主体的底部设有多个支座,所述舟脚数量与所述支座相同,所述支座上设有装配缺口,所述舟脚设置在所述装配缺口对应位置并与所述支座固定连接。本发明设计了一种碳化硅/石英复合材料的舟托,舟托主体为碳化硅材料,材料热稳定性能好,使用寿命长;舟托与石英炉管接触的舟脚采用石英材料,由石英舟脚与石英炉管同材质接触,可以有效防止舟脚损伤炉管,从而避免出现损伤部位应力集中的问题,保证石英炉管的使用寿命
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117712018A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311842986.2
(22)申请日2023.12.29
(71)申请人宁波伏尔肯科技股
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