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一种高纯石英玻璃原料及其制备方法与应用.pdf

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    本发明公开了一种高纯石英玻璃原料及其制备方法与应用，以四甲氧基硅烷为底料，控制初始滴加温度，以水、甲醇、催化剂的混合液为滴加料，控制滴加温度与滴加速率，滴加完后，回流一定时间，然后改为蒸馏，将甲醇蒸出，得到聚合物液体；蒸出甲醇后，通入高纯氧气，将四甲基硅氧烷的低聚物带出，所得产物可以作为制备高纯度石英玻璃的硅源。本发明制备石英玻璃的原料的工艺简单、环保、效率高，并且原料便宜，制备的硅源杂质含量低于10ppb，然后利用化学沉积技术可制备性能良好的高纯石英玻璃。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117700439A

    (43)申请公布日2024.03.15

    (21)申请号202311723342.1

    (22)申请日2023.12.14

    (71)申请人苏州西丽卡电子材料有限公司

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