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增大比例系数P一般将加快系统的响应，在有静差的情况下有利于减小静差，但是过大的比例系数会使系统有比较大的超调，并产生振荡，使稳定性变坏。增大积分时间I有利于减小超调，减小振荡，使系统的稳定性增加，但是系统静差消除时间变长。增大微分时间D有利于加快系统的响应速度，使系统超调量减小，稳定性增加，但系统对扰动的抑制能力减弱。在凑试时，可参考以上参数对系统控制过程的影响趋势，对参数调整实行先比例、后积分，再微分的整定步骤。PID参数的整定首先整定比例部分。将比例参数由小变大，并观察相应的系统响应，直至得到反应快、超调小的响应曲线。如果系统没有静差或静差已经小到允许范围内，并且对响应曲线已经满意，则只需要比例调节器即可。如果在比例调节的基础上系统的静差不能满足设计要求，则必须加入积分环节。在整定时先将积分时间设定到一个比较大的值，然后将已经调节好的比例系数略为缩小(一般缩小为原值的0.8)，然后减小积分时间，使得系统在保持良好动态性能的情况下，静差得到消除。在此过程中，可根据系统的响应曲线的好坏反复改变比例系数和积分时间，以期得到满意的控制过程和整定参数。PID参数的整定如果在上述调整过程中对系统的动态过程反复调整还不能得到满意的结果，则可以加入微分环节。首先把微分时间D设置为0，在上述基础上逐渐增加微分时间，同时相应的改变比例系数和积分时间，逐步凑试，直至得到满意的调节效果。PID参数的整定三、控制过程简介1、温湿度之控制2、压力之控制3、空气微尘之控制1、温湿度之控制一、湿空气的状态参数

（一）湿度

湿度又称为湿含量，为单位质量干空气所带的水蒸汽质量。

（二）相对湿度

相对湿度定义为湿空气中水气的分压与同温度、同总压下饱和空气中的水气分压之比。

相对湿度是湿空气饱和程度的标志。相对湿度愈低，距饱和就愈远，该湿空气容纳水气的能力就

愈强。当相对湿度时，湿空气中的水气已达饱和，该湿空气不周能容纳水气，也就不能用途作干燥介质。绝对干空气的相对湿度为零。

温湿度SENSOR（三）焓

亦称“热焓”。它是表示物质系统能量的一个状态函数，通常用H来表示，其数值上等于系统的内能U加上压强P和体积V的乘积，即H＝U＋PV。由上式可知，内能U是可加量，压强与体积的乘积PV也是可加量，所以焓H必然也是可加量。在等压的过程中，在系统温度升高时，不仅由于自身内能增大而吸收热量，而且由于体积的膨胀而对外作功，所以系统吸收的总热量应表示为（△Q）P＝△U＋P△V＝△（U＋PV）＝△H。由此说明，在等压过程中，系统温度升高所吸收的热量，等于系统的状态函数焓的增加。这就是态函数焓的最重要的特性。焓值SENSOR1、温湿度之控制（四）干球温度和湿球温度

在湿空气中用一般温度计测得的温度称为该空气的干球温度，即该空气的真实温度。

若用湿纱布包扎温度计的感温部分，纱布下端浸在水中，以维持其处在在润湿状态，就成为湿球温度计。将湿球温度计置于湿空气中，经一段时间达到稳定后，其计数称为湿球温度。温度SENSOR1、温湿度之控制（五）露点

将湿空气在总压和湿度保持不变的情况下冷却，当湿空气达到饱和时的温度即为露点。若湿空气

的温度降到露点以下，则所含超过饱和部分的水蒸汽将以液态水的形式凝结出来。露点SENSOR1、温湿度之控制从右到左分别为：预热盘管、第一道冷盘管、第二道冷盘管、再热盘管1、温湿度之控制焓湿图1、温湿度之控制转速PID控制焓值PID控制露点PID控制再热盘管PID控制1、温湿度之控制MAU控制图1、温湿度之控制2、压力之控制对于压力之控制主要是控制的是OAChamber的压力，使之保持一定的压力，主要是通过压差SENSOR在Chamber侦测到内部的压力，然后在将检测到的信号反馈到PLC中进行计算，然后输出信号给控制风车转速的变频器，调节变频器来控制风车的转速，从而达到控制Chamber内的压力。对于检测元件，跟FAB内部的是一样的，不同的是控制内部的压力是通过调节风门的开度来控制洁净室内部的压力的。风车OAChamberInverterPanel盘管2、压力之控制3、空气微尘之过滤对于空气微尘的控制可分为三个阶段，第一是预滤网,中级滤网，和HEPA，因为每种滤网的结构和功能都不一样，所以作用也不一样。预滤网为初级过滤，对5ｕｍ大小的微尘过滤效率是35%～80%，中级滤网对1ｕｍ的微尘过滤效率为85-90%，HEPA对0.3ｕｍ大小的微尘过滤效率为99.97%～99.99%，空气洗涤器除了给空气加湿也有除微尘的作用，这样看来MAU供给洁净室的空气几乎没有微尘。不织布初滤网初滤网对滤