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原子层沉积技术制备AZO薄膜及其性能研究

摘要：随着能源危机和环境污染问题的日益凸显，新能源的开发和利用已成为当前科学研究的热点。氧化锌掺杂铝（AluminumdopedZnO，AZO）薄膜由于具有优异的导电性、优良的透明性以及良好的化学稳定性，已成为透明导电薄膜的一种理想材料。本文采用原子层沉积（AtomicLayerDeposition，ALD）技术制备AZO薄膜，并研究了薄膜的性能。研究结果表明，由ALD技术制备的AZO薄膜具有较高的导电性和透明性，且具有较好的化学稳定性，可应用于太阳能电池、液晶显示屏等领域。

关键词：原子层沉积；AZO薄膜；导电性；透明性；化