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集成光学环形谐振腔的研究的中期报告

近年来，集成光学器件在光通信、光计算、生物医学等领域得到广泛应用。其中，环形谐振腔是一种常见的器件，具有极高的灵敏度和精度，可用于光滤波、光传感、光调制等方面。本研究旨在开发一种基于集成光学环形谐振腔的传感器，并对其进行中期报告。

目前，已经完成了以下工作：

1.设计了环形谐振腔传感器，包括光子波导、电极等部分的设计与优化，确保谐振腔的稳定性和灵敏度。

2.利用软光刻技术和电子束光刻技术制备了样品，并进行了光学测量，结果表明谐振腔的Q值高达10万以上，在1550nm波段具有优异的性能。

3.将传感器与气体、温度等外界物理量接触，观测谐振腔的输出谱线随之变化，证明环形谐振腔传感器可用于气体传感和温度传感。

4.构建了一套信号采集和处理的系统，实现了数据的实时读出和分析，并提出改进方案，提高了传感器的灵敏度和稳定性。

尚需完成的工作：

1.进一步加强传统的传感应用，如气体传感、温度传感，同时探索新的应用领域，如光子晶体微结构、生物医学等。

2.提高传感器的集成度，增强器件的样品制备和测试的稳定性和可靠性。

3.研究使用新的材料和工艺来制备器件，以提高器件的性能和降低制备成本。

4.进一步优化谐振腔的结构，以增加输入输出端口数量，提高器件的灵活性和适应性。

总之，该研究在环形谐振腔传感器的设计、制备和测试方面取得了一定的进展，在未来的工作中，将继续探索更多应用和改进方案，期望能够为集成光学传感器的研究和应用做出更多贡献。