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2023年半导体项目规划设计纲要.docx

2023年半导体项目规划设计纲要.docx

    半导体项目规划设计纲要

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    半导体项目规划设计纲要

    目录

    TOC\h\z9720前言 3

    7147一、工艺说明 3

    10944(一)、技术管理特点 3

    12964(二)、半导体项目工艺技术设计方案 4

    10877(三)、设备选型方案 5

    20049二、半导体项目可持续发展 7

    21224(一)、可持续战略与实践 7

    32346(二)、环保与社会责任 7

    29718三、半导体项目选址可行性分析 8

    32672(一)、半导体项目选址 8

    22518(二)、用地控制指标 8

    23175(三)、节约用地措施 10

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