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本发明公开了一种消零级非对称的超表面光栅比例分束器及其设计方法，考虑在平行光束入射到分束器后，要求出射子光束在一维方向按给定的不同分束角和给定的强度比例出射，且尽可能消除零级光。本发明在考虑不同偏振下衬底对每个非对称子光束的影响下，按给定的分束角和给定的强度比例，选取所需的超表面光栅衍射级次，并计算获得各衍射级次所需的出射效率和衍射效率，通过优化超表面光栅内亚波长的二维结构参数，从而实现一维的消零级非对称的超表面光栅比例分束器。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117724257A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202410140166.7
(22)申请日2024.02.01
(71)申请人苏州希卓科技有限公司
地址21
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