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本发明涉及一种高重频激光脉冲生成装置及极紫外光生成系统，包括至少2个激光单元，用于分时输出激光脉冲；至少一个扫描单元，用于分时接收至少2个激光单元输出的激光脉冲并通过摆动或转动改变激光脉冲的方向，最终使激光脉冲从预设光路分时入射至目标单元；至少一个角度控制装置，用于控制扫描单元在预设角度范围内摆动或转动。其中多个激光单元分时输出激光脉冲并传输至扫描单元，多路激光脉冲的输出在时间上交错叠加，在不同的时点传输到扫描单元，扫描单元以摆动或转动的方式改变接收激光脉冲的角度，使从不同的激光单元传输至扫描单
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117728279A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202311768661.4
(22)申请日2023.12.21
(71)申请人广东国志激光技术有限公司
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