晶圆级光学透镜的切割方法.pdfVIP

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本发明设计光学镜头制造技术领域,尤其是一种用于晶圆级光学透镜的切割方法,包括如下步骤:⑴.提供一待切割的晶圆,晶圆包括基板以及形成在所述基板表面上的若干个镜片,晶圆分为带有若干个光学透镜的有效部以及除有效部以外的无效部;⑵.在晶圆的无效部表面形成凸出于无效部表面的结构体,且结构体与若干个镜片的高度齐平;⑶.将晶圆放置于切割胶带上,使结构体和至少部分镜片共同支撑在切割胶带上;⑷.对晶圆进行切割,得到若干个光学透镜。本发明的切割方法能够使得晶圆在固定于切割胶带上时,基板的有效部与无效部均得到支撑,从

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114953214A

(43)申请公布日2022.08.30

(21)申请号202210767762.9

(22)申请日2022.07.01

(71)申请人苏州晶方光电科技有限公司

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