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本实用新型属于晶圆夹持传输技术领域，公开了一种晶圆夹持机构。该晶圆夹持机构包括支座、气管接头、活塞杆、预紧力调节件和弹性件，支座上设有多个沿周向均匀分布的空腔和多个与空腔一一对应的气体管道，空腔的腔口安装有固定块，固定块设有用于使空腔和外界连通的通道；气管接头设于支座的中心处，气管接头设有多个管口；活塞杆设有多个，活塞杆滑动穿设于固定块上，活塞杆位于空腔内的一端设有推板，活塞杆的另一端安装有夹爪；预紧力调节件滑动套设于活塞杆并螺接于固定块上。弹性件套设于活塞杆上，弹性件的一端抵接于推板，弹性件的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220627774U
(45)授权公告日2024.03.19
(21)申请号202322184715.4
(22)申请日2023.08.15
(73)专利权人天津中科晶禾电子科技有限责任
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