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本发明涉及了一种微陀螺。该微陀螺包括陀螺仪装置和谐振器装置。该微陀螺工作时，驱动框架在第一固定梳齿电极和第二固定梳齿电极作用下沿x方向振动，检测框架同时沿x方向振动，第一谐振器在第三固定梳齿电极和第四固定梳齿电极的作用下开始沿y方向振动，当传感器在x‑y平面垂直方向有角速度Ωz输入时，由于科氏效应，x方向的振动引起y方向的谐振，检测框架又沿y方向振动，导致第一平行板电极和第二平行板电极的平板间距发生了不同变化引起了不同的静电负刚度变化，导致第一谐振器和第三谐振器刚度受到不同的扰动发生模态局部化现
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117723036A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202310770767.1
(22)申请日2023.06.28
(71)申请人天津理工大学
地址300384
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