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2024-03-20 发布于四川
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本发明提供一种相较于以往而言能够提高流量检测部的噪声性能的物理量检测装置。本发明的物理量检测装置(20)具备板状的芯片封装件(208)，所述板状的芯片封装件(208)从被测量气体的流路突出配置，具有沿着该被测量气体的流动方向的宽度(W)。该芯片封装件(208)具有流量检测部(205)、增速流路(208c)、测量面(208a)、非测量面(208b)以及隔流部(208d)。增速流路(208c)的截面积缩窄，配置有流量检测部(205)。隔流部(208d)将第2副通道(234b)分隔为面对测量面(208

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN113597538A

(43)申请公布日2021.11.02

(21)申请号202080006415.3(74)专利代理机构上海华诚知识产权代理有限

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