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用于高压处理装置的气箱组件.pdfVIP

用于高压处理装置的气箱组件.pdf

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    本发明提供一种用于高压处理装置的气箱组件，其包括：壳体，具备内部空间；供给模块，被构成为配置在所述内部空间内，用于向高压处理装置的腔室供给工艺气体；排气模块，被构成为用于排出处理所述腔室中的物体之后产生的气体；以及填充模块，被构成为用于向所述内部空间以高于所述壳体的外部压力的压力填充保护气体，从而，阻止外部空气流入所述内部空间。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117719800A

    (43)申请公布日2024.03.19

    (21)申请号202311203905.4B65D90/00(2006.01)

    (22)申请日2023.09.

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