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一种用于显示高纯AL-0.5%Cu靶材金相组织的腐蚀液及腐蚀方法.pdfVIP

一种用于显示高纯AL-0.5%Cu靶材金相组织的腐蚀液及腐蚀方法.pdf

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    本发明提供一种用于显示高纯AL‑0.5％Cu靶材金相组织的腐蚀液及腐蚀方法。所述腐蚀液包括盐酸、硝酸、氢氟酸和水；所述盐酸、硝酸、氢氟酸和水的体积比为(2～3):(15～25):(3～8):(50～60)。采用本发明提供的腐蚀液对高纯AL‑0.5％Cu靶材进行腐蚀后可以直接用普通光学显微镜观察金相组织，无需加装专业的偏光装置，操作简便，成本较低，为更好的研究高纯AL‑0.5％Cu靶材的晶粒组织提供了一种实用、高效的方法。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117721468A

    (43)申请公布日2024.03.19

    (21)申请号202311263718.5C25F3/20(2006.01)

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