原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种差异化检测的气体传感器及其气体检测方法，至少包括三维纳米管气体传感器阵列，所述三维纳米管贯穿阳极氧化铝薄膜并且允许气体从三维纳米管的两端流通，其中，所述阳极氧化铝薄膜第一表面的沿第一方向排列的且与传感区域对应的若干第一电极以打线结合的方式进行短接；所述阳极氧化铝薄膜第二表面的沿第二方向排列的且与传感区域对应的共用第二电极与陶瓷层第一表面上的第三电极连接，所述阳极氧化铝薄膜中由第一电极和第二电极电连接区域形成用于采集气体成分的传感区域。本发明将结合打线接合技术及上下交叉电极技术，集成
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN113504272A
(43)申请公布日2021.10.15
(21)申请号202110958215.4B82Y30/00(2011.01)
文档评论（0）