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一种高纯砷的蒸馏装置.pdfVIP

一种高纯砷的蒸馏装置.pdf

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    一种高纯砷的蒸馏装置，包括蒸馏管和加热装置，所述蒸馏管底部封闭顶部开口；所述加热装置内设置有底部封闭顶部开口的加热腔，所述加热腔的内径与蒸馏管和外径相匹配，所述蒸馏管竖直插装在加热腔内；所述加热装置内、在加热腔外侧同轴套装有加热筒，所述加热筒内沿蒸馏管的长度方向均匀布置有多个发热区，所述发热区呈环状。综上所述，本装置方案提供的一种高纯砷的蒸馏装置具有均匀加热的效果。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220619056U

    (45)授权公告日2024.03.19

    (21)申请号202321206954.9

    (22)申请日2023.05.18

    (73)专利权人浙江能鹏半导体材料有限责任公

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