一种扫描电镜样品传输装置.pdfVIP

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  • 2024-03-20 发布于四川
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本实用新型公开了一种扫描电镜样品传输装置,包括:抬升台、调整盘、调整杆、调整块、推动结构以及真空结构等部件,利用调整杆、调整盘、抬升机构等装置,将样品调整至抬升台上的中心区域后进行传输,能够在传输过程中明确且控制样品的位置,具有精确控制样品传输的功能,解决了现有技术中扫描电镜样品传输装置过程中样品容易偏移的缺陷;推动结构和真空结构位于同一水平面且推动杆水平运动方向指向真空腔,在抬升台将样品抬升至推动结构和真空结构所处水平面后,样品能够进行水平运动,相比于现有技术,提高了样品传输过程中样品位置的精

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220627736U

(45)授权公告日2024.03.19

(21)申请号202322242939.6B65G15/30(2006.01)

(22)申请日2023.08.

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