一种MEMS加速计器件结构及其制备方法.pdfVIP

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2024-03-20 发布于四川
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一种MEMS加速计器件结构及其制备方法.pdf

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本发明提供一种MEMS加速计器件结构及其制备方法，属于MEMS加速计技术领域。该MEMS加速计器件结构包括信号互联晶圆、器件层和盖板；器件层与盖板之间形成有至少一个第一空腔，信号互联晶圆与器件层之间形成有至少一个第二空腔；盖板上设有至少一个第一通孔，或/和信号互联晶圆上设有至少一个第二通孔；该器件结构还包括用于密封第一通孔的第一封孔层或/和用于密封第二通孔的第二封孔层。该器件结构的制备方法中将镀疏水材料的步骤移到部件结合步骤之后，既不影响器件密封性能，又避免疏水材料受温度的影响，并保证器件结构内

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117723779A

(43)申请公布日2024.03.19

(21)申请号202311474919.X

(22)申请日2023.11.06

(71)申请人湖北九峰山实验室

地址4300

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