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2024-03-20 发布于四川
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本发明属于镀膜设备技术领域，公开了一种蒸发卷绕机构及真空镀膜机，其中的一种蒸发卷绕机构，包括：电子束蒸发源，用于使目标膜材蒸发以产生镀膜气体；以及卷绕辊组，用于传送具有镀膜面的柔性镀膜件，且设于所述电子束蒸发源的上方；所述卷绕辊组包括至少两个镀膜辊，每一镀膜辊以所述电子束蒸发源为中心沿圆周方向依次分布，且每一镀膜辊均能够使绕于其上的柔性镀膜件的镀膜面朝向于电子束蒸发源，以在镀膜时，绕经每一镀膜辊的所述柔性镀膜件的镀膜面至少部分暴露于所述镀膜气体形成的气氛中。本发明能够成膜更加牢固，也能够使成膜更

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117721434A

(43)申请公布日2024.03.19

(21)申请号202410176035.4

(22)申请日2024.02.08

(71)申请人成都国泰真空设备有限公司

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