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本发明涉及陀螺仪技术领域,具体是指一种基于全角模式的半球谐振陀螺仪的制造方法及系统,包括通过陶瓷基复合材料加工得到基座,基座采用渗铝工艺加工得到带有电极的电极基座,以及通过熔融石英材料加工得到的激励罩,还包括以下步骤:步骤1,谐振子粗加工;步骤2,谐振子精加工;步骤3,电路系统设计;步骤4,装配封装保护;步骤5,整机测试校准。本发明通过降低谐振子基材与抛光单元之间相对的转速差,进而减少二者在加工过程产生的干涉,还通过抛光模块能够改变其与谐振子基材之间的加工角度,在加工效果上的表现为改变了抛光区域
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117723037A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202410176072.5
(22)申请日2024.02.08
(71)申请人四川图林科技有限责任公司
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