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本申请涉及谐振器技术领域，公开了一种谐振器，包括环形的谐振件和位于谐振件内的锚固单元，锚固单元具有支撑件和锚固件，支撑件具有至少一个环形结构，且位于锚固单元与锚固件之间；支撑件经由第二连接单元与锚固件连接，并经由第一连接单元与谐振件连接。在这种情况下，支撑件可作为缓冲区域，在谐振件发生振动时，谐振件形变所产生的应力经第一连接单元传递给支撑件，部分应力在支撑件上抵消，从而使得较小的能量传递给锚固件。由此，能够有效地降低锚点损耗，有利于谐振器稳定地振动，提高谐振器的可靠性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117728789A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202311838450.3
(22)申请日2023.12.28
(71)申请人麦斯塔微电子（深圳）有限公司
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